Profilomètre

Un profilomètre est un instrument utilisé pour mesurer le relief d'une surface, notamment dans le but d'en évaluer la rugosité ou la micro-géométrie. Les profilomètres sont à leur origine dotés d'une pointe très fine en diamant qui lit l'altitude lorsqu'on la déplace le long de la surface. Ce principe est toujours très utilisé, mais il est aujourd'hui complété par nombre de dispositifs optiques. Les profilomètres à contact sont basés sur le contact physique entre une pointe en diamant et la surface à mesurer. Un capteur solidaire de la pointe en mesure la position verticale Z lorsqu'on la déplace horizontalement (axe X) sur la surface, ce qui permet ainsi d'établir le profil Z=f(X) de la surface. Les profilomètres à contact utilisés pour les matériaux fragiles, notamment dans l'industrie des semi-conducteurs, disposent d'un contrôle de la force d'appui de la pointe. Les petits profilomètres dont la fonction est la mesure de l'état de surface en atelier sont en général désignés par le terme de rugosimètres. Le capteur de position le plus utilisé pour relever la position de la pointe est le principe inductif (LVDT). Mais on trouve également des principes à base d'interférométrie, d'ombroscopie, à effet Hall, ou piézo-électrique. Avantages des profilomètres à contact : compatibilité : la plupart des normes sur les états de surface ayant été écrites depuis des décennies pour les profilomètres à contact, la mesure réalisée sur ces instruments pose peu de problème de compatibilité ; indépendance aux propriétés optiques : le principe est insensible aux propriétés optiques de la surface ; tolérance à la pollution : le diamant traverse aisément un film d'huile pour mesurer une pièce mécanique ; prix : technologie mûre et marché très concurrentiel en font un produit bon marché. Inconvénients des profilomètres à contact : lenteur : ces dispositifs nécessitant le passage d'une pointe sur la surface, la vitesse de balayage est en général de l'ordre du millimètre par seconde ; rayure : la pointe en diamant raye la surface.