La première machine à vapeur rudimentaire connue est l'aeolipile décrite par Héron d'Alexandrie dans l'Égypte romaine du Ier siècle. Plusieurs dispositifs à vapeur ont ensuite été expérimentés ou proposés, comme le cric à vapeur de Taqi al-Din, une turbine à vapeur dans l'Égypte ottomane du XVIe siècle, et la pompe à vapeur de Thomas Savery dans l'Angleterre du XVIIe siècle. En 1712, le moteur atmosphérique de Thomas Newcomen est devenu le premier moteur à succès commercial utilisant le principe du piston et du cylindre, qui était le type fondamental de moteur à vapeur utilisé jusqu'au début du 20e siècle. Le moteur à vapeur était utilisé pour pomper l'eau des mines de charbon.
Au cours de la révolution industrielle, les moteurs à vapeur ont commencé à remplacer l'énergie hydraulique et éolienne, pour devenir la source d'énergie dominante à la fin du 19e siècle et le rester jusqu'aux premières décennies du 20e siècle, lorsque la turbine à vapeur et le moteur à combustion interne, plus efficaces, ont entraîné le remplacement rapide des moteurs à vapeur. La turbine à vapeur est devenue la méthode la plus courante d'entraînement des générateurs d'énergie électrique. Des recherches sont en cours pour déterminer s'il est possible de faire revivre le moteur à vapeur alternatif comme base de la nouvelle vague de technologie avancée de la vapeur.
Le premier moteur à vapeur rudimentaire connu et la première turbine à vapeur à réaction, l'éolienne, sont décrits par un mathématicien et ingénieur nommé Héron d'Alexandrie (Héron) dans l'Égypte romaine du 1er siècle, dans son manuscrit Spiritalia seu Pneumatica. La vapeur éjectée tangentiellement par des buses faisait tourner une boule pivotante. Son efficacité thermique était faible. Cela suggère que la conversion de la pression de la vapeur en mouvement mécanique était connue en Égypte romaine au 1er siècle. Héron a également conçu une machine qui utilisait l'air chauffé dans un feu d'autel pour déplacer une quantité d'eau d'un récipient fermé.
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A compound engine is an engine that has more than one stage for recovering energy from the same working fluid, with the exhaust from the first stage passing through the second stage, and in some cases then on to another subsequent stage or even stages. Originally invented as a means of making steam engines more efficient, the compounding of engines by use of several stages has also been used on internal combustion engines and continues to have niche markets there.