Explore les lois de mise à l'échelle dans les micro et nanosystèmes, couvrant la densité, le mouvement, la force électrostatique, le contrôle de la fréquence et l'énergie thermique vs mécanique.
Explore les arrangements d'électrodes, les capteurs de niveau de liquide, la force électrostatique et les accéléromètres capacitifs dans les capteurs capacitifs.
Explore les principes de transduction électrostatique, les équations non linéaires et le couplage actionneur/capteur, avec des exemples comme les microphones électrostatiques.
Se concentre sur la modélisation d'un condensateur de plaque parallèle utilisant Comsol, en mettant l'accent sur des idées de projet claires et la collaboration de groupe.
