Matériaux de polymères pour MEMS

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Description

Cette séance de cours porte sur divers matériaux polymères utilisés dans les systèmes micro-électromécaniques (MEMS), notamment les polymères thermoplastiques tels que le polycarbonate et le PMMA, les polymères élastomères tels que le PDMS et les polymères spécialisés tels que le PTFE et le Parylène. Il traite de leurs propriétés, applications et procédés de fabrication, mettant en évidence leurs caractéristiques et avantages uniques dans la technologie MEMS.

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