Séance de cours
Cette séance de cours couvre des sujets tels que les systèmes de projection de masque, le micro-traitement laser, les matériaux de masque pour la lithographie, les masques diélectriques, les structures submicroniques, les méthodes basées sur les interférences, les propriétés du faisceau gaussien, les principes de guidage des ondes, l'interaction laser-matériaux, les équations de Maxwell, la propagation des ondes, les unités d'énergie photonique, l'indice de réfraction, la densité de polarisation, les résonances et les relaxations.