Détermination de l'épaisseur de film: Analyse XPS

Cette séance de cours couvre la détermination de l'épaisseur du film à l'aide de la spectroscopie à photoélectrons à rayons X (XPS). Il explique comment calculer l'épaisseur du film à partir des mesures XPS, en tenant compte de facteurs tels que la profondeur d'échappement des électrons et les concentrations atomiques. La séance de cours explore également les principes de la spectroscopie électronique Auger (AES) et sa comparaison avec XPS, détaillant l'instrumentation, l'interprétation spectrale, la quantification et le profilage en profondeur. En outre, il explore les sources d'électrons pour l'AES, les techniques analytiques comme la microscopie à balayage Auger et le concept de probabilités de transition Auger contre fluorescence.