Microsystèmes thermiques : capteurs de transfert de chaleur et de gaz

Cette séance de cours couvre les principes fondamentaux du transfert de chaleur, des micro-plaques chauffantes, des émetteurs IR, des capteurs de flux thermique et des accéléromètres. Les sujets abordés comprennent le chauffage Joule, la technologie des micro-plaques chauffantes, la fabrication, les paramètres de conception, la dissipation thermique et la caractérisation thermique. La séance de cours traite également des émetteurs infrarouges, des principes de fonctionnement et des accéléromètres thermiques utilisant la technologie CMOS.