Technologie de micro-usinage : concepts et applications de sécurité

Cette séance de cours couvre la technologie de micro-usinage utilisée dans les systèmes d'armes avancés, en mettant l'accent sur le concept de sécurité impliquant des miroirs positionnables et l'électronique cible. Il s'inscrit dans la fabrication de miroirs, de moteurs de commande et de mécanismes anti-réversifs, ainsi que dans l'application de concepts de sécurité à double miroir-redirection. L'exposé traite également de l'histoire et de la vision des laboratoires nationaux de Sandia dans le développement de la technologie MEMS. Diverses technologies comme les structures à 2 couches, 3 couches et 4 couches sont expliquées, mettant l'accent sur le contrôle de la contrainte dans les couches PolySi. La séance de cours se termine par une explication détaillée du processus de fabrication, y compris les techniques de post-annelage et l'utilisation de couches sacrificielles pour le contrôle de la contrainte.