Oxyde conducteur transparent: pulvérisation

Cette séance de cours couvre les principes de la pulvérisation cathodique pour l'oxyde conducteur transparent (TCO) dans les cellules solaires photovoltaïques, y compris la plasma spalla presso, la loi de Paschen, le revêtement antireflet et la gestion de la lumière infrarouge. Il traite de la croissance du film, des paramètres de contrôle et des exemples de méthodes de pulvérisation cathodique. La séance de cours explore également le processus de fabrication, les résultats et les améliorations de l'efficacité du TCO à l'aide de ZnO:Al-SiO2. En outre, il se penche sur l'utilisation de matériaux piézoélectriques tels que AIN, ZnO et PZT pour les transducteurs à ultrasons, les capteurs de masse et les filtres à ondes acoustiques en vrac, ainsi que sur les détails de configuration de pulvérisation cathodique pour divers matériaux et conditions de dépôt.