Inspection et métrologie : techniques de mesure des couches minces

Cette séance de cours couvre diverses techniques pour mesurer l'épaisseur de film mince dans les processus de micro et de nanofabrication, y compris la réflectométrie optique, la transmittométrie, l'ellipsométrie et l'ellipsométrie spectroscopique. Il explique les principes physiques qui sous-tendent ces méthodes, tels que la réflectance normale, la transmittance et les changements dans les propriétés de la lumière. La séance de cours traite également du processus de mesure de l'épaisseur de SiO2 à l'aide de plaquettes bi-morphes et de l'importance d'un bon ajustement du spectre. En outre, il explore l'utilisation des ellipsomètres pour mesurer les couches minces et compare les avantages des réflectomètres et des ellipsomètres en termes de précision et de méthodologie, en mettant l'accent sur leur nature sans contact et non invasive.