Microscopie à l'échelle nanométrique: Techniques et applications
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AVERTISSEMENT : Le chatbot Graph n'est pas programmé pour fournir des réponses explicites ou catégoriques à vos questions. Il transforme plutôt vos questions en demandes API qui sont distribuées aux différents services informatiques officiellement administrés par l'EPFL. Son but est uniquement de collecter et de recommander des références pertinentes à des contenus que vous pouvez explorer pour vous aider à répondre à vos questions.
Explore les méthodes de lithographie pour définir des modèles dans la fabrication de micro / nano et discute de l'importance et des étapes impliquées dans le processus.
Explore les techniques de microscopie optique, les mesures de dimension, le profilage de surface, la caractérisation électrique du MEMS et les techniques de microscopie avancées.
Explore les technologies de microfabrication, la lithographie, MEMS, les processus de salle blanche, l'amélioration de la résolution, les masques de changement de phase et la complexité de la fabrication des puces.
Couvre l'évaluation de la qualité des couches de sondes à l'aide du miroir résonnant, de la résonance de Plasmon de surface et de la microscopie électronique à balayage.
