Couvre les composants et les technologies utilisés en microscopie électronique, y compris les détecteurs, les lentilles, les aberrations et les porte-échantillons.
Explore la résolution spatiale en optique, couvrant la résolution angulaire, les limites de diffraction, l'ouverture numérique et la résolution du microscope.
Explore la lithographie par faisceau d'électrons, couvrant la luminosité du canon à électrons, les aberrations de la lentille, le diamètre du faisceau et la mise en œuvre de l'outil.
