Séance de cours
Cette séance de cours couvre les principes et les applications des actionneurs et des MEMS optiques, y compris les actionneurs d'entraînement en peigne électrostatique, les actionneurs magnétiques et les micromiroirs. Il traite de la conception et du fonctionnement de diverses méthodes d'actionnement, telles que l'actionnement électrostatique et magnétique, ainsi que de leurs avantages et de leurs limites. La séance de cours explore également des exemples de systèmes MEMS optiques avancés utilisés dans l'électronique mobile et grand public, tels que les micro-obturateurs et les écrans. En outre, il approfondit les concepts de revêtements réfléchissants, de réflecteurs de Bragg distribués et de réseaux à contraste élevé, soulignant leur importance dans la technologie MEMS.