Séance de cours
Cette séance de cours couvre les fondamentaux des résonateurs MEMS, y compris les types tels que les résonateurs de flexion et de torsion, et leurs applications dans les filtres et les oscillateurs. Il traite de l'importance du facteur de qualité, des compromis dans la conception des résonateurs et des méthodes de transduction. La séance de cours explore également l'importance des résonateurs MEMS dans les frontaux de communication, les dispositifs de chronométrage et les sources de fréquence. En outre, il se penche sur les mesures de performance clés telles que le bruit de phase et la stabilité de la température, ainsi que sur les défis et les solutions pour obtenir un contrôle de fréquence précis. La présentation se termine par un aperçu de la modélisation des résonateurs, des résonateurs couplés et des considérations de conception des filtres.