Séance de cours
Lithographie par faisceau d'électrons: Interactions
Description
Cette séance de cours traite des interactions électron-échantillon en lithographie par faisceau d'électrons, en se concentrant sur la distribution des électrons frappant la surface et l'impact des différentes tensions sur la diffusion directe et la résolution. Il couvre également l'effet de proximité causé par les électrons rétrodiffusés.
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