MOOC
Micro and Nanofabrication (MEMS)
Séances de ce MOOC (64)
Transport du gaz et taux de croissance des filmsMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Couvre le transport de masse dans la couche limite, le transfert de gaz vers le substrat, le calcul du taux de croissance du film et les résultats expérimentaux.
Dépôt chimique en phase vapeur: Si, SiN4, SiO2, DiamantMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Explore les processus LPCVD et PECVD pour Si, SiN4, SiO2 et diamant dans les applications microélectroniques.
Dépôt chimique en phase vapeur: formation d'oxyde et ALDMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Explore les processus CVD pour la formation d'oxyde et ALD en micro et nanofabrication.
Dépôt de vapeur physique: bases et applicationsMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Explore les techniques de dépôt de vapeur physique, y compris la création de vapeur et le flux vers le substrat en micro et nanofabrication.
Dépôt de vapeur physique: Techniques d'évaporationMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Explore les techniques de dépôt physique en phase vapeur, y compris les effets d'ombre et les spécifications de l'équipement pour les processus d'évaporation en micro et nanofabrication.
Processus d'évaporation thermiqueMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Explique le processus d'évaporation thermique dans une chambre à vide pour la fabrication de micro-nano.
Pulvérisation: Formation de plasma et dépôt de film minceMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Couvre les processus de pulvérisation, de création de plasma et de dépôt de couches minces.
PVD 3 : Sputtering et loi de PaschenMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Explore les zones spatiales en décharge luminescente et la loi de Paschen.
Techniques de pulvérisation: PVD4, DC, RFMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Explore les techniques de pulvérisation cathodique DC, RF et Magnétron en micro et nanofabrication.
Sputtering : Interactions avec les cibles ioniquesMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Examine les interactions ion-cible dans les processus de pulvérisation de PVD, couvrant le dépôt composé, les dommages de surface et les facteurs influençant les taux d'éjection des cibles.