Benoît Deveaud est maintenant Directeur Adjoint à l'Enseignement et la Recherche, Ecole Polytechnique Palaiseau.

Benoît Deveaud est né en France en 1952. Il est admis en 1971 à l'Ecole Polytechnique de Paris et s'y spécialise en physique. En 1974, il entre au Centre National d'Etudes des Télécommunications. Il mène à la fois les études sur les centres profonds dans les semi-conducteurs III-V, et poursuit ses études de physique en préparant un diplôme d'études approfondies en physique des solides. En 1984, il soutient sa thèse de doctorat à l'Université de Grenoble.

Entre-temps, son équipe s'intéresse aux microstructures et lance une recherche sur les propriétés structurales et optiques des super réseaux à base d'arséniure de gallium. Ces études mettent en évidence par exemple le transport vertical dans les superréseaux ou la quantification des énergies de transition dans un puits quantique. En 1986 il rejoint l'équipe de Daniel Chemla aux Bell Laboratories (Holmdel USA) et participe à la mise au point de la première expérience de luminescence ayant une résolution temporelle meilleure qu'une picoseconde. Il étudie les processus de relaxation ultra-rapide dans les puits quantiques.

Rentré en France, au CNET, en 1988, il dirige un laboratoire d'études ultra-rapides, portant sur les propriétés optiques et électroniques des matériaux semi-conducteurs.

Nommé professeur en physique à l'EPFL en octobre 1993, son équipe de recherche étudie la physique des processus ultrarapides dans les micro- et nanostructures et les composants qui les utilisent.

Il a dirigé l'Institut de Micro et Optoélectronique depuis 1998 puis l'Institut de Photonique et électronique quantique de 2003 à 2007. Son équipe participe activement au Pôle national de Recherche "Quantum Photonics" dont il a été le Directeur Adjoint de 2001 à 2005 puis le Directeur de 2005 à 2013.

Il a été Doyen pour la recherche à l'EPFL de 2008 à 2014.

De 2014 à 2017, il a dirigé l'Institut de Physique.

Il a été editeur divisionnaire de Physical Review Letters de 2001 à 2007.