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The present thesis deals with Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) optical switches for telecommunication applications. The aim is to study new type of microsystems for guided-wave optical switchin
EPFL2005
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This paper presents a novel technological and design study of optical guided- wave MicroElectroMechanical Systems (MEMS) switch. We work on a concept of hermetic assembly in which a MEMS wafer is cove