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Nicoleta-Diana Ciressan

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Publications associées (7)

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Nanogap MEM resonators on SOI

Nicoleta-Diana Ciressan

Today's consumer electronics based on a large variety of time-keeping and frequency reference applications is based on quartz-crystal oscillators, because of their excellent performances in terms of quality factor, thermal and frequency stability. However, ...

EPFL2009

Focussed ion beam based fabrication of micro-electro-mechanical resonators

Mihai Adrian Ionescu, Daniel Grogg, Nicoleta-Diana Ciressan

A simple and fast process to fabricate micro-electro-mechanical (MEM) resonators with deep sub-micron transduction gaps in thin SOI is presented. The proposed process is realized on both 350 nm and 1.5 μm thin silicon-on-insulator (SOI) substrates, evaluat ...

Springer-Verlag2008

Nano-gap high quality factor thin film SOI MEM resonators

Mihai Adrian Ionescu, Marco Mazza, Dimitrios Tsamados, Daniel Grogg, Nicoleta-Diana Ciressan, Hüseyin Cumhur Tekin

A 1.25 m thin SOI micro-electro-mechanical (MEM) resonator with a quality factor of 100’000 at 24.6 MHz is demonstrated. A nanogap fabrication process allows the fabrication of < 200 nm gaps, allowing for low polarization voltages. A motional resistance of ...

2008