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Maurizio Tormen
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Publications associées (2)
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Vibration and shock reliability of MEMS: modeling and experimental validation
Herbert Shea, Robert Andrew Lockhart, Subramanian Sundaram, Maurizio Tormen
A methodology to predict shock and vibration levels that could lead to the failure of MEMS devices is reported as a function of vibration frequency and shock pulse duration. A combined experimental–analytical approach is developed, maintaining the simplici ...
Institute of Physics2011ESD testing and combdrive snap-in in a MEMS tunable grating under shock and vibration
Herbert Shea, Robert Andrew Lockhart, Subramanian Sundaram, Maurizio Tormen
This work describes a method for tracking the dynamics of electrostatic discharge (ESD) sensitive MEMS structures during ESD events, as well as a model for determining the reduced combdrive snap-in voltage under vibration and shock. We describe our ESD tes ...
Spie-Int Soc Optical Engineering, Po Box 10, Bellingham, Wa 98227-0010 Usa2011