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Yuliya Lisunova

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Publications associées (5)

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High-aspect ratio nanopatterning via combined thermal scanning probe lithography and dry etching

Jürgen Brugger, Yuliya Lisunova

Thermal scanning probe lithography is an emerging nanofabrication technique for rapid prototyping of arbitrary topographies in thermally sensitive resist. This feature, paired to the recent advances in dry plasma etching techniques, allows the fabrication ...

Elsevier2017

Phase masks for electron microscopy fabricated by thermal scanning probe lithography

Jürgen Brugger, Oliver Peric, Simon Bonanni, Yuliya Lisunova

2019

Combination of thermal scanning probe lithography and ion etching to fabricate 3D silicon nanopatterns with extremely smooth surface

Jürgen Brugger, Yuliya Lisunova

2018