Passer au contenu principal

Recherche

Afficher tous les résultats pour

Accueil

Personne

Mohammad Fazel Parsapour Kolour

Cette personne n’est plus à l’EPFL

À propos
Confidentialité
Mentions légales

Copyright © 2025 EPFL, tous droits réservés

Graph Chatbot

À propos de ce résultat

Cette page est générée automatiquement et peut contenir des informations qui ne sont pas correctes, complètes, à jour ou pertinentes par rapport à votre recherche. Il en va de même pour toutes les autres pages de ce site. Veillez à vérifier les informations auprès des sources officielles de l'EPFL.

Publications associées (11)

Veuillez noter qu'il ne s'agit pas d'une liste complète des publications de cette personne. Elle inclut uniquement les travaux sémantiquement pertinents. Pour une liste complète, veuillez consulter Infoscience.

Abnormal Grain Growth in AlScN Thin Films Induced by Complexion Formation at Crystallite Interfaces

Paul Muralt, Ramin Matloub Aghdam, Thomas La Grange, Silviu Cosmin Sandu, Stefan Mertin, Mohammad Fazel Parsapour Kolour, Vladimir Pashchenko

Sputter deposited Al(1-x)ScxN thin films with a Sc content from x = 0 to 43 at% are investigated by electron microscopy in order to study and explain the formation and growth of abnormally oriented grains (AOG). It is found that the latter did not nucleate ...

Wiley-VCH Verlag2019

Impact of negative bias on the piezoelectric properties through the incidence of abnormal oriented grains in Al0.62Sc0.38N thin films

Paul Muralt, Robin Nigon, Thomas La Grange, Silviu Cosmin Sandu, Mohammad Fazel Parsapour Kolour, Lukas Riemer, Xiao Di

Sputter deposited A1ScN films with an Sc content of 38 at % were investigated by X-ray diffraction and electron microscopy to study the influence of the radio frequency (RF) bias on the growth of abnormally oriented grains (AOG). Scanning electron microsco ...

2020

Growth, Integration, and Functional Characterization of AlScN Thin Films for RF MEMS Devices

Mohammad Fazel Parsapour Kolour

Mobile communication has grown explosively in recent years, leading to a strong demand for cheap, but high-performing bandpass filters with low insertion loss and smaller size. Surface acoustic wave (SAW) and thin film bulk acoustic wave (BAW) resonators r ...

EPFL2019