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Antoine Muller

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Publications associées (2)

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Silicon based micro-optical collimating element for mid-infrared Quantum Cascade Lasers

Hans Peter Herzig, Lubos Hvozdara, Pierre-Yves Baroni, Joab Di Francesco, Antoine Muller

A realization of a high numeric aperture, aspheric, silicon based collimating element for the mid-infrared (4 – 14 microns) Quantum Cascade Lasers, suited for mass production using computer driven reactive ion etching is presented. ...

2012

High numerical aperture silicon collimating lens for mid-infrared quantum cascade lasers manufactured using wafer-level techniques

Hans Peter Herzig, Lubos Hvozdara, Pierre-Yves Baroni, Joab Di Francesco, Antoine Muller

We present an aspheric collimating lens for mid-infrared (4-14 µ) quantum cascade lasers. The lenses were etched into silicon by an inductively coupled plasma reactive ion etching system on wafer level. The high refractive index of silicon reduces the heig ...

2012