Carolin Lohrberg

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Publications associées (1)

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Publications associées (1)

LTCC-Based Sensors for Mechanical Quantities

Thomas Maeder, Carolin Lohrberg

Besides their excellent dielectric and thermo-mechanical characteristics Low Temperature Cofiring Ceramics (LTCC) are also well suited for the fabrication of 3D micromechanical components such as sensors for mechanical quantities. This paper describes the ...

Soc Microelectronics, Electron Components Materials-Midem2012

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