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Publications associées (5)

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On the Limits of Precision Glass Molding for Diffractive Optical Elements

Diffractive optical elements (DOEs) consist of surface reliefs with dimensions in the micrometer range and nanometer precision. Two technologies dominate: Elements replicated in plastic and directly microfabricated elements in fused silica. Plastic DOEs ar ...

EPFL2017

Precision glass molding of high-resolution diffractive optical elements

Hans Peter Herzig, Toralf Scharf, Karin Prater

The demand of high resolution diffractive optical elements (DOE) is growing. Smaller critical dimensions allow higher deflection angles and can fulfill more demanding requirements, which can only be met by using electron-beam lithography. Replication techn ...

Spie-Int Soc Optical Engineering2016

Multilevel Micro-Structuring of Glassy Carbon Molds for Precision Glass Molding

Hans Peter Herzig, Toralf Scharf, Karin Prater

Replication techniques for diffractive optical elements (DOEs) in soft materials such as plastic injection molding are state of the art. For precision glass molding in glasses with high transition temperatures, molds with extreme thermal resistivity, low c ...

Spie-Int Soc Optical Engineering2015