Pascal Gentsch

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Publications associées (1)

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Publications associées (1)

6 DOF repeatability measurement setup for measuring position of assembled silicon parts with nanometric resolution

Simon Nessim Henein, Florent Cosandier, François Barrot, Johannes Richard Cornelis Geerit Kruis, Pascal Gentsch

This article presents a test setup dedicated to the measurement of the 6 degrees of freedom relative positioning assembly repeatability of three micro-manufactured parts equivalent to those composing a mesoscale flexure-based robot. The typical size of the ...

2015

6 DOF repeatability measurement setup for measuring position of assembled silicon parts with nanometric resolution

Simon Nessim Henein, Florent Cosandier, François Barrot, Johannes Richard Cornelis Geerit Kruis, Pascal Gentsch

2015