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Yasin Kilinc

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Publications associées (3)

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Observation of coupled mechanical resonance modes within suspended 3D nanowire arrays

Yusuf Leblebici, Yasin Kilinc

Complex yet compact nanoscale mechanisms have largely been absent due to the rather limited availability of components and integration techniques. Especially missing have been efficient interconnects with adjustable characteristics. To address this issue, ...

ROYAL SOC CHEMISTRY2020

Piezoresistive silicon nanowire resonators as embedded building blocks in thick SOI

Yusuf Leblebici, Mohammad Nasr Esfahani, Yasin Kilinc

2018

Top-Down Technique for Scaling toNnano in Silicon MEMS

Yusuf Leblebici, Zuhal Tasdemir, Mustafa Yilmaz, Yasin Kilinc

Nanoscale building blocks impart added functionalities to microelectromechanical systems (MEMS). The integration of silicon nanowires with MEMS-based sensors leading to miniaturization with improved sensitivity and higher noise immunity is one example high ...

American Vacuum Society2017