Woo Yeong Cho

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Publications associées (1)

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Publications associées (1)

A Chip-Level Post-CMOS Via-Last Cu TSV Process for Multi-Layer Homogeneous 3D Integration

Seniz Esra Küçük, Yusuf Leblebici, Woo Yeong Cho

In this paper, a die-level CMOS post-processing scheme for 3D integration using the via-last approach is presented for multi-layer stacking. The process includes TSV fabrication, chip-to-chip bonding, and finally the TSV filling with Cu electroplating. The ...

Ieee2016

A Chip-Level Post-CMOS Via-Last Cu TSV Process for Multi-Layer Homogeneous 3D Integration

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