Cette page est générée automatiquement et peut contenir des informations qui ne sont pas correctes, complètes, à jour ou pertinentes par rapport à votre recherche. Il en va de même pour toutes les autres pages de ce site. Veillez à vérifier les informations auprès des sources officielles de l'EPFL.
A quantitative analysis of stress in indium tin oxide (ITO) films with varying thicknesses was conducted using high-precision stylus profilometry. The experimental results revealed a transition of the stress type from tensile to compressive as the ITO film ...