Integration of Coplanar Barium-Strontium Titanate Tunable Capacitors on Micro-Machined Silicon

Nava Setter, Alexander Tagantsev
2010
Article de conférence

Résumé

The fabrication and characterization of coplanar Barium-Strontium Titanate capacitors on Silicon are described. Micromachining was used to reduce parasitic effects stemming from the substrate, thus enhancing the performance of the device.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/record/172144?ln=fr

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