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The design, fabrication and characterization of thermally actuated, parallelizable cantilevers is presented. Thermal simulations of operation in liquid give indications regarding displacement range in such an environment.
Georg Fantner, Blake William Erickson, Samuel Mendes Leitão, Quentin Antoine Marie Theillaud, Soma Biswas
Patrick Daniel Barth, Florence Pojer, Mahdi Hijazi, Matthieu François Marfoglia, Louis Georges Baptiste Dumas