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Miniature silicon Michelson interferometer characterization for dimensional metrology

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Michelson interferometer for detection of fast displacements of less than a quarter-wave over small areas

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1975

Interferometric measurement of the elongation of a pulsed diode laser

René Salathé

An interferometric technique was developed for detecting fast displacements of small areas in beam direction by less than λ/8. It utilizes a modified Michelson interferometer and a He-Ne laser light source. The technique was applied to measure the t ...
1972

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