Assessment of thick-film resistors for manufacturing piezoresistive sensors
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Force and pressure sensors based on the piezoresistive properties of thick- film resistors have recently found wide application due to their low cost, reliability, and relatively good precision. Achieving high elastic mechanical strains is important to max ...
Abstract—A common problem when using piezoceramic actuators for precise positioning is their hysteresis. Either external sensors such as capacitive or inductive probes, optical sensors or strain gauges are commonly used. The latter are the most favorable s ...
This paper reports on the design, fabrication, and characterization of the first low-power consumption MOSFET gas sensor. The novel MOSFET array gas sensor has been fabricated using anisotropic bulk silicon micromachining. A heating resistor, a diode used ...
