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Thickness Dependence of Structural and Electrical Properties of Thin InN Grown by Radio-Frequency Plasma-Assisted Molecular Beam Epitaxy

Concepts associés (11)
Microbalance à quartz
Une microbalance à quartz est un cas particulier de microbalance piézoélectrique dans lequel le matériau piézoélectrique utilisé est le quartz. Elle est classiquement réalisée en déposant deux électrodes conductrices de part et d'autre d'un substrat piézoélectrique. Le principe de base de la microbalance est la perturbation des conditions aux limites d'un résonateur : dans le cas de la microbalance à quartz, il s'agit de l'épaisseur effective du substrat dans laquelle est confinée l'onde acoustique.

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