Three-dimensional suspended integrated microstructure and method for making same

Gerhard Lammel
2002
Brevet

Résumé

The invention concerns a method for making a suspended microstructure comprising the following steps: forming a masking layer on a substrate top surface; structuring the masking layer to form at least an opening substantially defining the surface of said microstructure and for exposing part of the substrate corresponding to said surface; causing by electrochemical process said exposed semiconductor material to become porous over a predetermined thickness; electropolishing the semiconductor material underlying said microstructure made porous to form a cavity enclosing at least partially said microstructure beneath the masking layer level; and releasing said microstructure made porous to form a microstructure suspended to said substrate by at least a connection portion of its perimeter to provide said microstructure with mobility outside the substrate plane.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/record/229103?ln=fr

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Tension superficielle

vignette|et aux gerridés de se déplacer à la surface d'une mare. La tension superficielle est un phénomène physico-chimique lié aux interactions moléculaires d'un fluide. Elle résulte de l'augmentation de l'énergie à l'interface entre deux fluides. Le système tend vers un équilibre qui correspond à la configuration de plus basse énergie, il modifie donc sa géométrie pour diminuer l'aire de cette interface. La force qui maintient le système dans cette configuration est la tension superficielle.

Hydrophobie (physique)

L’hydrophobie (du grec υδρο, hydro = eau, et Φόβος, phóbos = répulsion) caractérise les surfaces qui semblent repousser l'eau. En réalité, il ne s'agit pas d'une réelle répulsion, mais plutôt du fait que l'eau étant une molécule polaire, elle a une très nette attirance préférentielle pour les autres molécules polaires, ce qui va amener ces molécules à s'assembler entre elles et former des billes qui semblent être repoussées par les molécules non polaires avec lesquelles elles n'ont pas une aussi forte affinité, alors qu'en réalité, ce sont les affinités entre les molécules polaires qui chassent vers l'extérieur de ces billes les molécules qui n'ont pas la même affinité avec elle - un peu de la même façon que le gradient de pression de l'eau chasse de son sein les corps moins denses (qui n'ont donc pas la capacité de générer en leur sein un gradient de pression aussi raide).

Semi-conducteur

Un semi-conducteur est un matériau qui a les caractéristiques électriques d'un isolant, mais pour lequel la probabilité qu'un électron puisse contribuer à un courant électrique, quoique faible, est suffisamment importante. En d'autres termes, la conductivité électrique d'un semi-conducteur est intermédiaire entre celle des métaux et celle des isolants. Le comportement électrique des semi-conducteurs est généralement modélisé, en physique de l'état solide, à l'aide de la théorie des bandes d'énergie.

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