Conformal Deposition of Conductive Single-Crystalline Cobalt Silicide Layer on Si Wafer via a Molecular Approach
Publications associées (41)
Graph Chatbot
Chattez avec Graph Search
Posez n’importe quelle question sur les cours, conférences, exercices, recherches, actualités, etc. de l’EPFL ou essayez les exemples de questions ci-dessous.
AVERTISSEMENT : Le chatbot Graph n'est pas programmé pour fournir des réponses explicites ou catégoriques à vos questions. Il transforme plutôt vos questions en demandes API qui sont distribuées aux différents services informatiques officiellement administrés par l'EPFL. Son but est uniquement de collecter et de recommander des références pertinentes à des contenus que vous pouvez explorer pour vous aider à répondre à vos questions.
Pyrolytic and photolytic laser chem. vapor deposition of Cu, Pt, Ga, and Sn was studied for the prodn. of low-resistance ohmic contacts of very small dimensions. ...