Method and system for fabricating glass-based nanostructures on large-area planar substrates, fibers, and textiles

Fabien Sorin, Alexis Gérald Page, Louis Marie Philippe Martin-Monier, Tapajyoti Dasgupta
2020
Brevet

Résumé

A method for manufacturing glass-based micro- and nanostructure comprising the step of dewetting a thin-film glass layer on a textured substrate to form the micro- and nanostructure from the thin-film glass layer.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/record/279736?ln=fr

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Method and system for fabricating glass-based nanostructures on large-area planar substrates, fibers, and textiles

On-Demand Cross-Linkable Bottlebrush Polymers for Voltage- Driven Artificial Muscles

Characterization of thin film stress for MEMS planarization

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