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FABRICATION AND ANALYSIS OF THIN FILM LITHUM NIOBATE RESONATORS FOR 5GHz FREQUENCY AND LARGE k(t)(2) APPLICATIONS

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Luis Guillermo Villanueva Torrijo, Seniz Esra Küçük, Soumya Yandrapalli, Victor Plessky
2021

Résumé

This work presents the fabrication and analysis of suspended thin film Lithium Niobate resonators. The yield of the new fabrication process presented below is >90% showing devices with high k(t)(2) of 28% resonators at 5GHz, making them suitable for high frequency and large bandwidth 5G filter applications.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/38aa72e0-bc14-4011-b231-34092de8b0d6

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Concepts associés (27)

Ultra haute fréquence

La bande des ultra hautes fréquences (ultra high frequency/UHF) est la bande du spectre radioélectrique comprise entre et , soit les longueurs d'onde de à . La bande UHF est le terme officiel désignant les fréquences radio de 300 à , mais la partie haute appartient plus généralement au domaine technique des « hyperfréquences » qui s'étend de () à . On y trouve donc des appellations anciennes et largement utilisées comme la Bande L et la Bande S.

Supra-haute fréquence

On appelle supra-haute fréquence (SHF), , la bande de radiofréquences qui s'étend de à (longueur d'onde de à ). Les SHF font partie des micro-ondes. Les techniciens et ingénieurs français parlent plutôt d'hyperfréquences et leur domaine s'étendait de à . Cette appellation d'« hyperfréquences » est également officielle en France, d'après une Commission générale de terminologie et de néologie. Les SHF sont en particulier utilisées dans les fours à micro-ondes pour agiter les molécules d'eau.

Haute fréquence

La haute fréquence désigne un spectre de fréquences d'ondes électromagnétiques modulées dont la nature diffère en fonction du domaine auquel il s'applique. Le présent article traite du domaine des « hautes fréquences » (high frequencies en anglais, abrégé en HF) en radiocommunication qui désigne les ondes radio dont la fréquence est comprise entre et . Elles sont également nommées « ondes décamétriques » ou « ondes courtes » , en fonction de leur longueur d'onde comprise entre 10 et .

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