Actionneur linéaire basé sur le principe du « Inchworm » inertiel

Le but de ce projet était de développer un actionneur linéaire haute résolution basé sur le principe du « Inchworm », dans lequel le blocage des pieds sera effectué par la force inertielle d’une vibration verticale. Les vibrations des pieds sont réalisées par des céramiques piézoélectriques. La vitesse maximum de l’actionneur réalisé est 1,2 mm/s, la force maximum est de 19 grammes, le mouvement a une très bonne linéarité et la résolution est meilleure que 25 nm.