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PECVD System B

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Jonathan Emanuel Thomet
2023

Résumé

Raw experimental data sorted by tool

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/d2dca5f4-9008-4664-ba26-901d7acb8532

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Publications associées (5)

Concepts associés (6)

Dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma

thumb|Équipement de PECVD. Le dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (ou PECVD, pour Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition en anglais) est un procédé utilisé pour déposer des couches minces sur un substrat à partir d'un état gazeux (vapeur). Des réactions chimiques se déroulent au cours du processus après la formation d'un plasma à partir des gaz du réacteur. Le plasma est généralement créé à partir de ce gaz par une décharge électrique pouvant être générée à partir de sources radio-fréquences (13,56 MHz), micro-ondes (2,45 GHz) ou par une décharge électrique continue entre deux électrodes.

Dépôt chimique en phase vapeur

vignette|Schéma d'un CVD Le dépôt chimique en phase vapeur (ou CVD pour l'anglais chemical vapor deposition) est une méthode de dépôt sous vide de films minces, à partir de précurseurs gazeux. La CVD est un procédé utilisé pour produire des matériaux solides de haute performance, et de grande pureté. Ce procédé est souvent utilisé dans l'industrie du semi-conducteur pour produire des couches minces. Dans un procédé CVD typique, le substrat est exposé à un ou plusieurs précurseurs en phase gazeuse, qui réagissent et/ou se décomposent à la surface du substrat pour générer le dépôt désiré.

Silicium amorphe

Le silicium amorphe, généralement abrégé a-Si, est la variété allotropique non cristallisée du silicium, c’est-à-dire dans lequel les atomes sont désordonnés et ne sont pas rangés de façon régulière définissant une structure cristalline. Le silicium amorphe peut être déposé en couches minces à basse température sur un grand nombre de substrats, permettant d'envisager une grande variété d'applications microélectroniques. Ce matériau semi-conducteur est couramment utilisé pour réaliser certains panneaux solaires photovoltaïques.

Amplitude and phase reconstruction for Low-Energy Electron Holography of individual proteins

Hannah Julia Ochner

Single-molecule imaging methods are of importance in structural biology, and specifically in the imaging of proteins, since they can elucidate conformational variability and structural changes that might be lost in imaging methods relying on averaging proc ...

EPFL2022

Microcrystalline silicon solar cells: effect of substrate temperature on cracks and their role in post-oxidation

Christophe Ballif, Thomas Söderström, Martin Python

Microcrystalline silicon (mc-Si:H) cells can reach efficiencies up to typically 10% and are usually incorporated in tandem micromorph devices. When cells are grown on rough substrates, ‘‘cracks’’ can appear in the mc-Si:H layers. Previous works have demons ...

2010

Modeling chloride transport using travel time distributions at Plynlimon, Wales

Andrea Rinaldo, Paolo Benettin, Gianluca Botter

Here we present a theoretical interpretation of high-frequency, high-quality tracer time series from the Hafren catchment at Plynlimon in mid-Wales. We make use of the formulation of transport by travel time distributions to model chloride transport origin ...

Amer Geophysical Union2015