Séance de cours
Ion Beam Etching
Description
Cette séance de cours introduit les graveurs à faisceau d'ions, qui utilisent un faisceau d'ions pour graver des substrats sans plasma, permettant le contrôle du flux d'ions et du flux neutre. La technique combine la pulvérisation physique avec l'activité chimique, offrant des possibilités spéciales dans la microfabrication et les études fondamentales de la gravure sèche.
Source officielle
À propos de ce résultat
Cette page est générée automatiquement et peut contenir des informations qui ne sont pas correctes, complètes, à jour ou pertinentes par rapport à votre recherche. Il en va de même pour toutes les autres pages de ce site. Veillez à vérifier les informations auprès des sources officielles de l'EPFL.