Ion Beam Etching

Cette séance de cours introduit les graveurs à faisceau d'ions, qui utilisent un faisceau d'ions pour graver des substrats sans plasma, permettant le contrôle du flux d'ions et du flux neutre. La technique combine la pulvérisation physique avec l'activité chimique, offrant des possibilités spéciales dans la microfabrication et les études fondamentales de la gravure sèche.