Séance de cours
Dépôt chimique en phase vapeur: Si, SiN4, SiO2, Diamant
Description
Cette séance de cours couvre divers processus de dépôt chimique en phase vapeur (CVD), y compris le LPCVD de Si polycristallin et amorphe, SiN4, et SiO2, ainsi que le PECVD de diamant. Il explique les applications du poly-Si en microélectronique, telles que les grilles de transistors et les matériaux d'interconnexion, et l'utilisation du Si amorphe dans les cellules solaires. Les méthodes de dépôt, les plages de température et les substrats pour chaque matériau sont détaillés. En outre, il traite du dépôt de SiO2 en tant que masque et couche d'isolation en microélectronique et des propriétés uniques du diamant, telles qu'une conductivité thermique élevée et une inertie chimique.
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