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Wir stellen einen kompakten Einspiegel 2D-Strahlablenker für Hochleistungs-Laser vor. Dieser Scanner ist für industrielle Anwendungen, wie zum Beispiel das hochpräzise Punktschweissen mit Lasern bis 5 kW Pulsleisung entwickelt worden. Er hat eine closed loop Bandbreite von typisch 700 Hz und über das ganze Scan-Feld eine maximale Stellzeit von weniger als 10 ms. Für eine nutzbare Spiegelfläche von (elliptisch) 30x40 mm2 ist das Totalvolumen des Scanners nur 30x40x50 mm3 und das Gewicht nur 90g. Die maximalen Ablenkwinkel sind ±3.5° was bei einer Brennweite von 100 mm ein Scan-Feld von ≈10x10 mm2 ergibt. Unter diesen Bedingungen kann mit einem Nd:YAG-Laser ein (beugungsbegrenzrer) Spot-Durchmesser von weniger als 10μm erreicht werden und eine Wiederholgenauigkeit von ungefähr 5μm.