Résistance mécanique à court terme des substrats en alumine [Short-term strength of alumina substrates]

Cette étude porte sur le comportement à la rupture à court terme de substrats en alumine, en flexion 3 points. A ce titre, on a étudié différentes nuances (pureté 96% ou 99.6%), différents processus de séparation (rayage + cassage, découpe laser), ainsi que l'effet de recuits ultérieurs. La rupture est presque toujours dominée par les défauts aux bords, provenant du rayage ou de la découpe laser. La seule méthode de fabrication semblant atteindre la résistance "intrinsèque" du substrat est le rayage + cassage, mais seulement sur la face non rayée. La perte de résistance due au rayage augmente avec l'épaisseur du substrat. L'utilisation d'alumine 99.6% permet dans de bonnes conditions un gain de signal d'env. 30%.