Gaz à effet de serreLes gaz à effet de serre (GES) sont des composants gazeux qui absorbent le rayonnement infrarouge émis par la surface terrestre et contribuent ainsi à l'effet de serre. L'augmentation de leur concentration dans l'atmosphère terrestre est l'un des facteurs à l'origine du réchauffement climatique. Un gaz ne peut absorber les rayonnements infrarouges qu'à partir de trois atomes par molécule, ou à partir de deux si ce sont deux atomes différents.
Trifluorure d'azoteLe trifluorure d'azote est un composé inorganique de formule brute NF. Ce composé azote-fluor est un gaz incolore, toxique, inodore, non inflammable. Il est de plus en plus utilisé comme graveur chimique en micro-électronique. Le trifluorure d'azote est utilisé pour la gravure ionique réactive des wafers en silicium. Le NF y est décomposé in situ en azote et fluor, et les radicaux fluor obtenus agissent comme des agents nettoyants qui attaquent le silicium.
Tétrafluorure de carboneLe tétrafluorure de carbone (), également perfluorométhane, tétrafluorométhane, fréon 14 (R 14) ou halon 14, est un gaz fluoré. Il est le perfluorocarbure (PFC) le plus abondant dans l'atmosphère terrestre, où il contribue à l'effet de serre : son potentiel de réchauffement de la planète à horizon (PRP-100) est plus élevé que celui du dioxyde de carbone. Sa concentration dans l'atmosphère s'élève en 2019 à , contre en 1850. Tétrachlorométhane Méthane Fluor Fiche de sécurité Linde (2003) Fiche international
PerfluorocarbureLes perfluorocarbures (PFC) ou hydrocarbures perfluorés sont des composés halogénés gazeux de la famille des fluorocarbures (FC). Ces gaz fluorés sont composés exclusivement d'atomes de carbone et de fluor (contrairement aux hydrofluorocarbures (HFC), ils sont totalement substitués). Ces composés synthétiques ont la particularité de dissoudre de grandes quantités de gaz, comme le dioxygène (), le dioxyde de carbone (), le diazote (N2), etc. Ils peuvent dissoudre jusqu'aux deux tiers de leur volume de gaz.
Potentiel de réchauffement globalLe potentiel de réchauffement global (PRG) est le pouvoir réchauffant d'un gaz, rapporté au pouvoir réchauffant de la même masse de dioxyde de carbone. C'est un facteur de conversion utilisé pour comparer les impacts relatifs de différents gaz à effet de serre sur le réchauffement climatique en se fondant sur leur forçage radiatif cumulé sur une période donnée.