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Couvre la source d'ions ALIS He et son application en microscopie à haute résolution, fournissant des détails de surface et un contraste de matériau remarquables.
Déplacez-vous dans des techniques avancées de nanomanufacturing, y compris la lithographie et le copolymère bloc auto-assemblage pour la fabrication précise des appareils.
Introduction de la spectroscopie par photoélectrons à rayons X (XPS) pour l'analyse de surface, couvrant les principes, les applications, le processus d'analyse et les techniques de profilage en profondeur.
Explore les principes et les applications de la technologie Focused Ion Beam, y compris les interactions ion-solide, le broyage ionique et la nanofabrication.
Explore la lithographie UV et DUV, les bases de la lithographie par faisceau d'électrons, les matériaux résistants et l'optique, en comparant EBL avec d'autres méthodes de lithographie.