Explore la courbe de Paschen, la tension de claquage, la constante de ressort efficace, les densités d'énergie et la stabilisation des actionneurs électrostatiques.
Couvre l'introduction aux systèmes micro-électromécaniques (MEMS), y compris les principes de fonctionnement, les éléments, les lois d'échelle, le choix du silicium, les capteurs et les actionneurs.
Couvre les roulements à billes, les moteurs électriques et les actionneurs, y compris la conductivité thermique, le bruit de couple, la lubrification et les mécanismes de génération de force.
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