Résumé
Kelvin probe force microscopy (KPFM), also known as surface potential microscopy, is a noncontact variant of atomic force microscopy (AFM). By raster scanning in the x,y plane the work function of the sample can be locally mapped for correlation with sample features. When there is little or no magnification, this approach can be described as using a scanning Kelvin probe (SKP). These techniques are predominantly used to measure corrosion and coatings. With KPFM, the work function of surfaces can be observed at atomic or molecular scales. The work function relates to many surface phenomena, including catalytic activity, reconstruction of surfaces, doping and band-bending of semiconductors, charge trapping in dielectrics and corrosion. The map of the work function produced by KPFM gives information about the composition and electronic state of the local structures on the surface of a solid. The SKP technique is based on parallel plate capacitor experiments performed by Lord Kelvin in 1898. In the 1930s William Zisman built upon Lord Kelvin's experiments to develop a technique to measure contact potential differences of dissimilar metals. In SKP the probe and sample are held parallel to each other and electrically connected to form a parallel plate capacitor. The probe is selected to be of a different material to the sample, therefore each component initially has a distinct Fermi level. When electrical connection is made between the probe and the sample electron flow can occur between the probe and the sample in the direction of the higher to the lower Fermi level. This electron flow causes the equilibration of the probe and sample Fermi levels. Furthermore, a surface charge develops on the probe and the sample, with a related potential difference known as the contact potential (Vc). In SKP the probe is vibrated along a perpendicular to the plane of the sample. This vibration causes a change in probe to sample distance, which in turn results in the flow of current, taking the form of an ac sine wave.
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