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Explore l'interaction du rayonnement avec la matière, couvrant l'ionisation, l'excitation, la désexcitation, le bremsstrahlung, le rayonnement Cherenkov et le pouvoir d'arrêt.
Explore les principes de détection dans les détecteurs d'ionisation gazeuse et le comportement des régions de temps mort, de perte d'énergie, de dérive de charge et de détection.
Couvre la source d'ions ALIS He et son application en microscopie à haute résolution, fournissant des détails de surface et un contraste de matériau remarquables.
Explore la gravure anisotrope de films organiques et d'alliages d'Al, en mettant l'accent sur le rôle de Al2O3 dans la gravure d'Al et en présentant des exemples de procédés de gravure sèche.
Explore les fondamentaux de la microscopie à sonde à balayage, les types de pointes et les modes AFM pour l'imagerie et la manipulation à l'échelle nanométrique.
Explore la génération de plasma, la gaine ionique, la tension de polarisation CC et la conception d'électrodes dans les processus de micro et de nanofabrication.
